7ÔÂ22ÈÕ£¬½ËÕÏȵ¼Î¢µç×ӿƼ¼ÓÐÏÞ¹«Ë¾GW ¼¶¸ÆîÑ¿óÏîÄ¿½¦É䶯Ĥװ±¸Àֳɽ»¸¶£¬±ê¼Ç׏«Ë¾ÔÚ¸ÆîÑ¿ó½¦Éä×°±¸ÖÆÔìÁìÓòÈ¡µÃÖØ´ó¹¤Òµ»¯Í»ÆÆ£¡£¡£¡Ò²ÎªÎ´À´¸Æîѿ󹤳̵ÄÁ¿²úÊÂÇéµÓÚ¨Òªº¦»ù´¡¡£¡£ÎªÁ˴˴θÆîÑ¿ó½¦Éä×°±¸µÄ½»¸¶£¬½ËÕÏȵ¼Í¬ÊÂÃÇÍŽáÐ×÷¡¢¡¢È«Á¦ÒÔ¸°£¬×îÖÕÒԸ߱ê×¼¡¢¡¢¸ßÖÊÁ¿¡¢¡¢¸ßЧÂÊʵÏÖ¸Ã×°±¸µÄ¹¤Òµ»¯³ö»õ£¬Ê¹¿Í»§½øÒ»²½ÈÏ¿ÉÓëÐÅÈΡ°Ïȵ¼Æ·ÅÆ¡±¡£¡£
¸ÆîÑ¿óÌ«ÑôÄÜµç³Ø±»Òµ½çÒÔΪÊÇÐÂÒ»´ú¹â·üÊÖÒÕõè¾¶£¬ÆäÖ÷ÒªÓÉÎå¸ö¹¦Ð§²ã×é³É£º£º£ºÍ¸Ã÷µ¼µçÑõ»¯Îï(TCO£©¡¢¡¢µç×Ó´«Êä²ã(ETL£©¡¢¡¢¸ÆîÑ¿ó²ã¡¢¡¢¿ÕѨ´«Êä²ã(HTL£©ºÍ±³µç¼«¡£¡£µç³ØÉú²úÀú³ÌÖÐÖÆ±¸³ö´óÃæ»ý¡¢¡¢¸ßÐÔÄÜ¡¢¡¢ÔȳÆÎȹ̡¢¡¢¸ßÖÊÁ¿µÄ±¡Ä¤ÓÈΪҪº¦¡£¡£½ËÕÏȵ¼Î¢µç×Ӵ˴γö»õµÄ1200mmx 2400mmÁ¢Ê½×°±¸ÒÔ¼°ÎÔʽ²úÏߣ¬ÊǸÆîѿ󼰸ÆîÑ¿óµþ²ãµç³Ø¹¤Òµ»¯µÄÒªº¦½¹µã×°±¸£¬ÆäÖ÷ÒªÓÃÓÚ¸ÆîÑ¿óµç³ØÎüÊÕ²ã/µç×Ó´«Êä²ã/±³µç¼«²ãµÈĤ²ã¡£¡£±ðµÄ£¬¹«Ë¾»®·ÖÔÚ10mw/100mw/500mwµÈ²î±ðÊг¡ÐèÇó¾ùÓз¢»õ¼Í¼£¬Æä×°±¸º¸Ç´Å¿Ø½¦Éä¡¢¡¢Õô·¢¡¢¡¢ALD¡¢¡¢PECVD µÈ¶àÖÖ³Á»ý·½Ê½£¬Îª¸ÆîÑ¿ó¹¤ÒµµÄÖÜÈ«½µ±¾ÔöЧТ˳ʵÁ¦¡£¡£

½ËÕÏȵ¼Î¢µç×Ó·¢»õÒÇʽÏÖ³¡
ÏÂÒ»²½£¬½ËÕÏȵ¼Î¢µç×Ó½«É¶Ô½ÓÏà¹ØÁìÓòÏàÖúͬ°é£¬Æð¾¢Íƶ¯¸ÆîÑ¿ó¹¤ÒµÁ´µÄÐͬ¿ªÕ¹£¬ÖúÁ¦¹â·üÐÐÒµ½øÈëÒ»¸öеĿªÕ¹½×¶Î£¬ÎªÈ«ÇòÄÜԴתÐͺÍʵÏÖ¡°Ë«Ì¼¡±Ä¿µÄ×¢Èë¸ü¶àԴȪ¶¯Á¦¡£¡£