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电子特气

电子特气用于半导体加工制造，例如薄膜沉积 - 包括化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）。。。我们提供高品质的电子气体，应用于LED制造，光伏太阳能，光纤和微电子器件。。。

砷烷

砷烷

砷烷应用于泛半导体行业，作为外延硅的N型掺杂、、扩散、、离子注入、、生长砷化镓（GaAs）等化合物半导体的要害电子特气。。。
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磷烷

磷烷

磷烷是一种易燃的剧毒气体。。。用于半导体质料制备；；衬底/外延、、离子注入和掺杂；；用于有机合成，制备磷的有机化合物等。。。
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硒化氢

硒化氢

硒化氢是一种可燃的有毒气体。。。用于泛半导体行业；；是制作红外质料（硒化锌等）的要害质料。。。
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锗烷

锗烷

锗烷是一种可燃的有毒气体。。。制取高纯度锗；；应用于泛半导体掺杂及金属有机化合物气相沉积（MOCVD）镀膜工艺；；是太阳能电池的主要质料电子特气。。。
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乙硼烷

乙硼烷

乙硼烷是一种可燃的有毒气体。。。用作制取高纯度硼；；是半导体行业的掺杂、、外延生长、、扩散和离子注入等的要害特气质料；；应用于火箭和导弹的高能燃料、、制药、、金属焊接和有机合成等领域。。。
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甲硅烷

甲硅烷

甲硅烷是一种可燃的有毒气体。。。硅工业链中的应用最普遍要害产品之一， 用作多晶硅/单晶硅制备， 硅基薄膜沉积；；普遍应用于泛半导体行业。。。
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三氟化氮

三氟化氮

三氟化氮是一种可燃的有毒气体。。。作为高温室效应的氟化电子特气， 普遍应用于电子行业的干法刻蚀，晶圆外貌洗濯， 工艺腔室刻蚀清洁；；是现在光伏/显示/半导体制造中最主要的特气之一。。。
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三氯化硼

三氯化硼

三氯化硼是一种可燃的有毒气体。。。应用于泛半导体行业，是刻蚀、、洗濯和掺杂等工艺要害电子特气；；三氯化硼还普遍用于有机合成和催化反映。。。
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四氯硅烷

四氯硅烷

制取高纯硅、、硅酸乙酯等；；外延硅蚀刻气；；制备熔融石英纤维。。。
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