近期，，在研发职员的不懈起劲和一直立异下，，先导旗下子公司威科赛乐研发的大尺寸MPD芯片取得阶段性突破！芯片的暗电流、、结电容、、响应度数据以及可靠性验证等要害性能指标均达市场头部企业水平！
图1 大尺寸MPD芯片显微镜实物图
样品咨询：csm_sales@vitalchem.com
大尺寸MPD芯片可应用于监测、、光纤装备及数字通讯等领域。。差别于威科赛乐生产的以往产品，，MPD芯片需要在InP基衬底上做外延生长，，重新开发芯片工艺。。从外延到芯片，，从研发到生产，，威科赛乐研发团队直面挑战，，全力攻坚。。现在，，行业内针对InP基质料的主流外延和芯片工艺尺寸为2英寸，，并向3英寸过渡中。。更大尺寸的衬底，，意味着面临着匀称性、、产品良率等难题，，同时也需要更具竞争力的本钱支持。。
在本钱方面，，威科赛乐作为必发7790集团半导体生态圈的主要组成部分，，公司拥有行业领先的工业链规�：捅厩攀�。。本次的大尺寸MPD产品研爆发产中，，批量使用了先导的InP衬底。。在制备高性能芯片的同时，，突破性使用4寸衬底，，最终战胜了外延匀称性、、扩散工艺、、芯片流片等问题。。相较于3寸衬底，，使用4寸衬底的单颗芯片本钱，，降低了37.5%！
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与此同时，，威科赛乐还兼顾了大尺寸MPD芯片的性能体现，，实现真正意义上的降本增效，，做出了比肩业内标杆企业的产品。。图2为室温下测得的芯片级MPD产品的暗电流、、结电容及响应度数据。。即便关于直径3000μm的芯片，，暗电流的均值也在3nA级别，，相同测试条件下知足甚至低于市面常见规格。。暗电流随温度转变的稳固性，，是表征芯片事情特征的主要指标。。芯片在封装竣事后，，在变温条件下测试后，，威科赛乐MPD芯片展现出与行业标杆企业一律水平的温度稳固性。。图3是[-20，，100]℃下测得MPD芯片温度稳固曲线，，关于500μm的芯片，，在100℃时，，暗电流只比-20℃下高约30nA。。
图3 MPD芯片变温暗电流测试
大尺寸MPD芯片经由了“高温老化”和“高温高湿双85”的可靠性验证。。高温可靠性的检测时间，，凌驾1500小时，，暗电流转变幅度控制在5%以内，，时久远超业内通例的[24，，72]小时。。“双85”老化实验条件下，，封测凌驾500小时，，暗电流稳固维持在标准以下。。
图5 高温高湿“双85”可靠性实验曲线
在生产方面，，威科赛乐突破通例直接接纳MOCVD装备做“扩散”工艺。。古板的“扩散”工艺，，是通过扩散炉来实现的，，该工艺被普遍应用于大规模集成电路、、光电器件和光导纤维等领域。。但弱点主要为工艺操作繁琐、、消耗大、、扩散效率低。。威科赛乐通过在MOCVD反映室中直接扩散，，如图6所示，，在抵达扩散浓度的条件下，，将工艺时间缩短至约20分钟，，简化了操作方式、、降低了装备消耗、、加速了流片节奏，，充分解决了古板扩散炉工艺带来的误差。。
图6 公司使用的MOCVD装备
威科赛乐始终承继以客户需求为中心的宗旨，，兼具多方案芯片代工的能力以供客户选择。。为了更好的匹配客户在差别应用端（模组）的驱动方式，，公司生产的MPD芯片在监测、、光纤装备及数字通讯端具有高无邪性和功效性。。
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